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一文解讀半導體掩膜版

發(fā)布時間:2025-01-15作者來源:薩科微瀏覽:1043


晶圓制造核心材料


掩膜版,亦稱光罩,是微電子制造領(lǐng)域內(nèi)光刻工藝不可或缺的核心組件,其角色相當于傳統(tǒng)攝影中的“底片”,扮演著承載精密圖形設計和技術(shù)知識產(chǎn)權(quán)信息的媒介角色。這一技術(shù)廣泛應用于半導體生產(chǎn)、平板顯示制造、電路板生產(chǎn)及觸控屏產(chǎn)業(yè)等多個高科技領(lǐng)域。依據(jù)最終應用領(lǐng)域的差異,掩膜版被細分為平板顯示掩膜版、半導體掩膜版、觸控掩膜版和電路板掩膜版等多個類別。其中,半導體掩膜版以其極高的工藝復雜度及占據(jù)約60%市場份額的龐大體量,成為了行業(yè)的焦點。


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作為光刻過程中圖形復制的基準模板,半導體掩膜版在芯片設計到制造的橋梁作用無可替代,其制作的精度與品質(zhì)直接關(guān)聯(lián)著下游產(chǎn)品的成品率。具體到晶圓制造流程,整個生產(chǎn)過程需歷經(jīng)多次精密的曝光步驟,正是通過掩膜版的精確掩蔽作用,得以在晶圓表面精準構(gòu)建出諸如柵極、源漏極、摻雜區(qū)域、電極接觸孔等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)。因此,掩膜版不僅是技術(shù)進步的象征,更是確保芯片性能與良率的關(guān)鍵要素。


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行業(yè)規(guī)模

根據(jù)SEMI發(fā)布的《全球晶圓廠展望報告》,半導體行業(yè)在2024年的增長預期將受到前沿邏輯芯片與代工產(chǎn)能的擴張以及芯片終端市場需求回暖的雙重驅(qū)動,特別是受到生成式人工智能和高性能計算(HPC)等新興應用的推動。

全球半導體晶圓月度產(chǎn)能在2023年實現(xiàn)了5.5%的增長,達到2960萬片,并預計將在2024年繼續(xù)以6.4%的增速擴大。從2022年至2024年間,全球半導體行業(yè)計劃啟動運營的新晶圓廠數(shù)量達到82家。在中國,得益于政府的資金支持及一系列激勵措施,預計2024年將有18個芯片制造項目投入運營。中國2023年的晶圓產(chǎn)能同比增長了12%,達到每月760萬片,而2024年則有望進一步增長13%,達到每月860萬片。

SEMI的數(shù)據(jù)還揭示,在半導體晶圓制造的材料成本構(gòu)成中,掩膜版占據(jù)了12%的比例,緊隨硅片(占比35%)和電子氣體(占比13%)之后,成為關(guān)鍵的材料成本組成部分。



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根據(jù)SEMI數(shù)據(jù),2022年全球半導體掩膜版市場規(guī)模達到49億美元,預估2023年半導體掩膜版市場規(guī)模將繼續(xù)增長至50.98億美元。

競爭格局

半導體掩膜版的生產(chǎn)供應主要分為兩大類:一類是晶圓制造廠自建的配套工廠,另一類是獨立的第三方掩膜版制造商。

在28納米及以下的高端晶圓制造領(lǐng)域,由于工藝極為復雜,掩膜版作為芯片制造的關(guān)鍵要素,包含了晶圓制造廠的核心技術(shù)秘密。因此,像英特爾、三星、臺積電和中芯國際等先進制程晶圓制造商,大多選擇在自己的專業(yè)工廠內(nèi)部生產(chǎn)掩膜版,以確保技術(shù)的保密性和生產(chǎn)效率。

而對于28納米以上較為成熟的制程,為了在保證技術(shù)滿足需求的同時降低成本,芯片制造商更傾向于向獨立的第三方掩膜版制造商采購掩膜版。根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù),在全球半導體掩膜版市場中,晶圓廠自建的掩膜版工廠占據(jù)了65%的市場份額,而獨立的第三方掩膜版制造商則占據(jù)了35%的市場份額。其中,美國的Photronics、日本的Toppan和DNP三家公司占據(jù)了獨立第三方掩膜版市場八成以上的份額,顯示出該市場的高度集中性。


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由于半導體掩模版具有較高的進入門檻,國內(nèi)半導體掩模版主要生產(chǎn)商主要包括濟南泉意、中芯國際光罩廠、迪思微、中微掩模、龍圖光罩、清溢光電、路維光電、中國臺灣光罩等。

當前,高端半導體掩膜版國產(chǎn)化率僅3%,國內(nèi)掩膜版生產(chǎn)廠商主要集中于180nm制程節(jié)點以上的生產(chǎn),少數(shù)廠商已掌握130nm制程節(jié)點的生產(chǎn)技術(shù),90nm及以下掩膜版高度依賴進口,國產(chǎn)替代空間廣闊。


總結(jié)


近年來,全球及國內(nèi)晶圓生產(chǎn)線的不斷擴展為半導體掩膜版行業(yè)注入了新的市場增長動力。與此同時,下游應用領(lǐng)域如新能源汽車和消費電子等領(lǐng)域的快速技術(shù)革新,也推動了對應半導體掩膜版的更新?lián)Q代需求。在國際貿(mào)易緊張局勢加劇和半導體產(chǎn)業(yè)逆全球化趨勢的背景下,加快國產(chǎn)替代已成為國家層面的戰(zhàn)略重點。對于目前國產(chǎn)化率仍相對較低的晶圓制造關(guān)鍵材料——半導體掩膜版而言,這一趨勢為其帶來了良好的發(fā)展機遇。


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