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整整185種!ASML、NIKON、CANON御三家光刻機型號大全

發布時間:2024-10-30作者來源:薩科微瀏覽:3261

在所有半導體設備里,光刻機確實是一個最有話題熱度的門類了。我之前從ASML、NIKON、CANON三家的官網上下載收錄了他們目前銷售的光刻機型號,并匯總做成表格供大家參考,讀者反饋不錯。更有行業大佬寫文章時引用我的數據后更是給我的公眾號帶來一波巨大流量

當然也有專業做設備貿易的人士提醒我:其實三家在歷史上推出過的光刻機型號遠不止這些。只是因為部分型號過于老舊,原廠已經早已不銷售了,所以官網上也查不到相關信息而已。不過市面上這些設備還在作為二手貨被交易和使用,行業朋友對這些信息也有需求

說者無心,聽者有意。這就激發起了我的好奇心。于是有了進一步收集數據的想法。而恰恰在這個時候,一些行業朋友也主動給我提供了大量的資料 -- 在此特別感謝之前慷慨給我提供信息的行業朋友,人數較多,就不一一具名了

話不多說了,數據奉上。目前收集到的三家供應商機臺型號數量共185種,基本涵蓋市面上絕大多數的三家供應商光刻機型號。麻煩大家在參考的同時也繼續給我提供信息,幫我進一步完善這個數據

ASML78

圖片


NIKON71

圖片


CANON36

圖片


這個完整表格里其實還有各個設備型號的具體參數指標,比如:焦深、放大倍率、視場尺寸、晶圓尺寸乃至推出市場的年份信息

不過由于版面有限,我只能截取部分信息做成以上簡表供大家參考了


免責聲明:本文采摘自“半導體綜研”,本文僅代表作者個人觀點,不代表薩科微及行業觀點,只為轉載與分享,支持保護知識產權,轉載請注明原出處及作者,如有侵權請聯系我們刪除。

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