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- 更新日期: 2024-12-18
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Qtime管控(Queue Time Control)是半導(dǎo)體制造過程中一個(gè)重要的和效率管理環(huán)節(jié),尤其在刻蝕工藝(ETCH)中顯得尤為重要。 一、Qtime的定義和重要性 Qtime(Queue Time)即“排隊(duì)時(shí)間”,是指在生產(chǎn)流程中,某一工序或設(shè)備在接收到任務(wù)后,等待處理的時(shí)間。具體來說,Qtime是指晶圓在一個(gè)工序的前一工序完成到該工序開始的時(shí)間間隔。在刻蝕工藝中,Qtime主要是指晶圓在不同的刻蝕步驟之間的等待時(shí)間,或者從晶圓進(jìn)入刻蝕機(jī)到開始刻蝕的時(shí)間。 Qtime的管控至關(guān)重